1.工厂智能化系统FMCS

2.中央动力监控系统

3.无尘室环境控制系统

4.气体监控系统

5.化学供应监控系统

6.纯水监控系统

7.废水监控系统

8.工艺冷却水监控系统

9.排气监控系统

10.漏液检测监控系统

11.电力监控系统

12.能源管理系统

13.空压及负压动力监控

系统

14.研磨液供应监控系统

15.楼宇自控系统